Плазмохимическое травление является многостадийным процессом, | bfvi.ru

Плазмохимическое травление является многостадийным процессом,

Плазмохимическое травление является многостадийным процессом,

Применение тлеющего разряда в текстильной и строительное промышленности - М.В. Акулова

Многообразие действующих агентов плазмы и сложность происходящих в ней процессов позволили при рассмотрении плаз­менного травления сопоставлять ее с фотолизом, радиолизом, терми­ческой деструкцией полимеров в зависимости от того, действие како­го из компонентов плазмы в данных условиях является преобладаю­щим [53].

Плазмохимическое травление является многостадийным про­цессом, детальное изучение которого, проведенное Киреевым В.Ю. [54], позволило выделить следующие основные стадии:

-               диффузия молекул рабочего газа в зону плазмы газового раз­ряда;

-               превращение молекул рабочего газа в активные компоненты газового разряда;

-               диффузия их к поверхности материала, подвергаемого обра­ботке;

-               взаимодействие активных компонентов плазмы с активными центрами материала, включающее в себя хемосорбцию химиче­ски активных частиц на поверхности материала, химическую ре­акцию и последующую десорбцию образующихся летучих и стабильных продуктов реакции с поверхности материала;

-               отвод продуктов реакции из разрядной зоны.

Гетерогенная химическая реакция травления полимеров может

протекать только в том случае, когда обеспечивается непрерывная доставка активных компонентов к обрабатываемой поверхности с помощью диффузии, конвекции или молекулярного потока и когда происходит непрерывная обратная диффузия продуктов реакции. Подробный анализ процесса травления представлен в работах Дани­лина B.C., Киреева В.Ю. [52-54], Полака Л.С. [19,55].

Промышленное оборудование

Гидрооборудование
Изготовление химической продукции
УДЭ-2
250 кг
200X100X304
Россия
Литейное оборудование
Оборудование розлива
ODERMATH
390 кг
1900х850х1900
Россия
Литейное оборудование
Ковка
MARX
300 кг
1900х850х1900
Россия
Станки
Штамповка
BLAUBERG
280 кг
200X100X304
Италия
[an error occurred while processing the directive]