Применение тлеющего разряда в текстильной и строительное промышленности - М.В. Акулова
Многообразие действующих агентов плазмы и
сложность происходящих в ней процессов позволили при рассмотрении плазменного
травления сопоставлять ее с фотолизом, радиолизом, термической деструкцией
полимеров в зависимости от того, действие какого из компонентов плазмы в
данных условиях является преобладающим [53].
Плазмохимическое травление является
многостадийным процессом, детальное изучение которого, проведенное Киреевым
В.Ю. [54], позволило выделить следующие основные стадии:
-
диффузия молекул рабочего газа в зону плазмы газового
разряда;
-
превращение молекул рабочего газа в активные
компоненты газового разряда;
-
диффузия их к поверхности материала, подвергаемого
обработке;
-
взаимодействие активных компонентов плазмы с активными
центрами материала, включающее в себя хемосорбцию химически активных частиц на
поверхности материала, химическую реакцию и последующую десорбцию образующихся
летучих и стабильных продуктов реакции с поверхности материала;
-
отвод продуктов реакции из разрядной зоны.
Гетерогенная химическая реакция травления
полимеров может
протекать только в том случае, когда
обеспечивается непрерывная доставка активных компонентов к обрабатываемой
поверхности с помощью диффузии, конвекции или молекулярного потока и когда
происходит непрерывная обратная диффузия продуктов реакции. Подробный анализ
процесса травления представлен в работах Данилина B.C., Киреева В.Ю. [52-54], Полака Л.С. [19,55].