Триботехническое материаловедение и триботехнология - Денисова В. А.
Рассмотрим некоторые
наиболее распространенные методы анализа поверхности.
Электронно-зондовые методы. Из четырех
видов зондирующих потоков частиц (электроны, ионы, нейтральные частицы и
фотоны) электронные пучки для исследования поверхностей твердых тел начали
применятся раньше и значительно шире других. Это связано с простотой получения
электронных пучков с заданной энергией плотности, а также с легкостью
фокусировки их в зонд малого диаметра на поверхности. Электронный луч в
современных зондовых устройствах можно фокусировать до единиц и даже долей
нанометра, т.е. до размеров близким к атомным. На настоящий момент
электронно-зондовые методы анализа по областям применения и распространения
преобладают, как в научных исследования, так и в современных производственных лабораториях.
Облучение поверхности
электронами вызывает эмиссию всех четырех видов частиц, однако наиболее часто
анализируются электроны, что обусловлено сравнительной простотой их
регистрации. Для получения информации о поверхности регистрируют энергию и
поверхностное распределение упруго- и неупругоотраженных первичных электронов
зонда или регистрируют вторичные электроны и оже-электроны.
Растровая электронная
микроскопия является одним из наиболее распространенных методов
диагностики поверхности. Это метод исследования поверхности образца,
использующий энергетическое и пространственное распределение электронов,
эмитированных из его приповерхностного слоя под воздействием
остросфокусированного луча - зонда. В электронном микроскопе изображение
поверхности во вторичных электронах создается благодаря развертке
сфокусированного пучка электронов по поверхности исследуемого образца.
98 
