Триботехническое материаловедение и триботехнология - Денисова В. А.
Из сказанного следует, что
для оже-процесса необходимо, чтобы атом содержал как минимум три электрона,
поэтому в атомах водорода и гелия оже-процесс невозможен.
Кроме определения состава
поверхности твердого тела, ЭОС можно применять для изучения химических связей,
т.е если атомы данного элемента находятся на поверхности в различных химических
состояниях, то возможно появление тонкой структуры оже-линии. Сравнивая оже-
линии одного и того же элемента до и после воздействия на него каких- либо
факторов, можно говорить об изменении его химического состояния.
Для установления состава и
свойств материалов в большинстве случаев достаточно качественной или
полуколичественной информации, которая может быть получена, как уже говорилось,
из наблюдений за изменением интенсивности и формы оже-пиков. Метод ЭОС может
служить источником количественной информации. Для проведения количественного
анализа, необходимо установить связь между током оже- электронов некоторого
элемента и количеством атомов этого элемента в поверхностном слое детали.
Рассмотренное выше
применение ЭОС относится к исследованию поверхностного слоя детали.
Значительный интерес представляет выявление распределения элементов по глубине
образца. Такая возможность представляется при сочетании ЭОС с ионным
распылением поверхности. Для таких исследований используют обычно ионные пучки
инертных газов с энергией от нескольких сотен до нескольких тысяч
электрон-вольт. В этом случае элементный состав определяется распылением, после
снятия определенного слоя с поверхности образца.
Рентгено-спектральный
микроанализ - распространенным методом анализа состава
материалов. При этом анализе регистрируют характеристическое рентгеновское
излучение из зоны торможения электронов зонда в твердой мишени. РСМА часто
применяется вместе с РЭМ на одном приборе в виде специальной
приставки-микроанализатора.
100 
